MEMS光学CP测试系统 - 国际招标公告(2)

主要用于MEMS微镜晶圆的偏转角度测试以及谐振频率和Q值测试。晶圆正面施加0~150V的DC信号，通过发射光以及接收光模块来计算出镜子结构在不同方向下偏转角度，并根据不同电压下角度合格范围给出良率统计。同时该系统配置了信号发生器，可以在固定电压下扫描不同频率正弦波信号，实现谐振频率测试并计算出品质因子Q值。